-
Keramički dijelovi od visokopreciznog keramičkog prstena od aluminijevog oksida
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
ST.CERA Prilagođene keramičke stezne glave za poluprovodničku opremu
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
Keramički krajnji efektor od silicijum-karbida (SiC) – visoka krutost za rukovanje pločicama na visokim temperaturama
St.Cera SiC keramički krajnji efektor proizveden je od silicijum karbida visoke čistoće (sadržaj SiC 99,72%, slobodnog Si 0,05%) korištenjem materijala S1111. Nudi izuzetna mehanička svojstva: čvrstoća na savijanje 449 MPa (izmjereno), modul elastičnosti 457 GPa (izmjereno) i tvrdoća po Vickersu 25–28 GPa (tipično). Niska gustoća (3,10–3,15 g/cm³, tipično) pruža visoku specifičnu krutost, idealnu za robote za brzi prijenos pločica. Sa toplinskom provodljivošću od 120–150 W/m·K (tipično) i koeficijentom toplinskog širenja od 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipično), ovaj krajnji efektor efikasno odvodi toplinu i održava dimenzionalnu stabilnost tokom rukovanja na visokim temperaturama (do 1600–1700°C, bez opterećenja). Crno/siva boja i nulta apsorpcija vode osiguravaju kompatibilnost sa čistim sobama.
-
Vakuumska stezna glava na bazi silicijum karbida (SiC) za visokotemperaturna i plazma okruženja
St.Cera keramička stezna glava na bazi SiC-a proizvedena je od silicijum karbida visoke čistoće (serija S1111, SiC 99,72%, slobodni Si 0,05%). Pruža izmjerenu čvrstoću na savijanje od 449 MPa, žilavost na lom od 3,12 MPa·m¹/² i modul elastičnosti od 457 GPa. Tipična toplinska provodljivost materijala (120–150 W/m·K) i nisko toplinsko širenje (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) omogućavaju brzo povećanje temperature i minimalno savijanje pločice tokom termičkog cikliranja. Stezna glava se može konfigurirati kao porozna vakuumska stezna glava (ujednačen protok plina) ili standardna stezna glava s užljebljenjem. S maksimalnom temperaturom upotrebe od 1600–1700°C (bez opterećenja) i izuzetnom otpornošću na eroziju plazmom, ova stezna glava je idealna za obradu pločica na visokim temperaturama (žarenje, RTP) i agresivne komore za nagrizanje gdje se aluminijske stezne glave degradiraju.
-
Poluprovodnička oprema Keramički rezervni dijelovi Keramički nosači
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
Brusni prsten od aluminijumskog keramičkog oksida s metalnom podlogom za primjenu poliranja visoke krutosti
St.Cera brusni prsten od metalnog oksida kombinuje keramički sloj od visokočistog oksida (99,8% Al₂O₃) sa precizno obrađenom metalnom podlogom (obično aluminijum ili nehrđajući čelik). Ovaj hibridni dizajn pruža izuzetnu otpornost na habanje i hemijsku inertnost keramike na površini za brušenje, dok metalna baza dodaje mehaničku čvrstoću, jednostavnu montažu i otpornost na krhki lom. Sloj oksida nudi čvrstoću na savijanje od 361 MPa, tvrdoću po Vickersu od 16 GPa i termičku stabilnost do 800°C. Metalna baza je prilagođena rupama za montažu, locirajućim klinovima ili magnetnim svojstvima za integraciju u mašine za lepanje, planetarne brusilice i CMP opremu.
-
Keramički rezervni dijelovi za opremu poluprovodničkih sondi
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
Prilagođena obrada Al2O3 keramičke stezne glave
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
ST.CERA Prilagođena keramička ploča za poluprovodničku opremu
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
12-inčna vakuumska stezna glava od aluminija za obradu pločica od 300 mm
St.Cera vakuumska stezna glava od 12 inča precizno je konstruirana od 99,8% visokočistog aluminijevog oksida (Al₂O₃) za rukovanje pločicama od 300 mm. Stezna glava ima fino užljebljenu površinu (širina žljeba 0,5–1,0 mm, korak 2–3 mm) kako bi se osigurala ravnomjerna raspodjela vakuuma po cijelom promjeru od 300 mm. Ravnost se održava unutar 5 μm, što omogućava fiksiranje pločice bez savijanja tokom rezanja, brušenja stražnje strane i inspekcije. Visoka čvrstoća na savijanje (361 MPa) i tvrdoća (16 GPa) materijala garantiraju dugoročnu dimenzionalnu stabilnost čak i pri ponovljenim ciklusima vakuumiranja.
-
Krajnji efektor od aluminijumske keramike s integriranim vakuumskim kanalima
St.Cera vakuumski krajnji efektor od aluminijevog oksida integrira precizno obrađene vakuumske kanale i usisne otvore direktno u tijelo od aluminijevog oksida visoke čistoće 99,8%. Ovaj dizajn eliminira vanjske vakuumske jastučiće, omogućavajući direktno preuzimanje pločice s ujednačenom silom držanja. Visoka čvrstoća na savijanje (361 MPa) i tvrdoća (16 GPa) materijala osiguravaju dugoročnu dimenzionalnu stabilnost pod ponovljenim ciklusima vakuumiranja. Ravnost preko površine jastučića održava se unutar 10 μm, sprječavajući naprezanje i lom pločice. Vakuumski otvori nalaze se na stražnjoj montažnoj prirubnici radi jednostavne integracije s OEM robotskim rukama.
-
ESD-sigurni aluminijski keramički dijelovi za rukovanje statički osjetljivim pločicama
St.Cera keramički dijelovi od aluminijevog oksida sigurni od elektrostatičkog pražnjenja (ESD) proizvedeni su od 99,8% Al₂O₃ visoke čistoće s prilagođenom površinskom otpornošću od 10⁶–10⁹ Ω/sq, postignutom patentiranim postupkom dopiranja ili premazivanja. Ovi dijelovi efikasno raspršuju statički naboj, sprječavajući elektrostatičko oštećenje osjetljivih poluprovodničkih pločica i uređaja. Osnovni materijal zadržava svoju visoku čvrstoću na savijanje (361 MPa), tvrdoću (16 GPa) i dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m). Keramički dijelovi sigurni od ESD-a uključuju krajnje efektore, klinove za podizanje, vodilice i prilagođene učvršćivače za FAB automatizaciju.
