-
Krajnji efektor od visokočistog aluminijumskog keramičkog oksida za robote za rukovanje pločicama
St.Cera-in krajnji efektor od aluminijumske keramike precizno je obrađen od 99,8% Al₂O₃ visoke čistoće korištenjem napredne 5-osne CNC brusilice. Naši proizvodni kapaciteti uključuju precizne brusilice i CNC obradne centre, što omogućava složene geometrije s visokom preciznošću. Krajnji efektor ima tanak profil (tanak samo 1,5 mm) sa suženom vodećom ivicom za glatko umetanje pločice. Materijal pruža visoku krutost (Youngov modul 380 GPa), odličnu otpornost na habanje i termičku stabilnost do 800°C. Svaka jedinica je precizno brušena kako bi se postigla ravnost od 0,003 mm, paralelnost od 0,002 mm i završna obrada površine od Ra0.1, osiguravajući konzistentan kontakt pločice i rad bez čestica u FAB okruženjima poluprovodnika. Dostupan je u dužinama od 150 mm do 450 mm, s prilagođenim geometrijama vrha (hvatanje ruba, Bernoulli, ravno) i montažnim prirubnicama koje odgovaraju OEM robotima. Opcije površinske završne obrade uključuju preklapanje, poliranje ili ESD disipativni premaz (10⁶–10⁹ Ω/kvadratni).
-
ST.CERA Prilagođeni Bernoulli krajnji efektor od aluminijumske keramike
Kao vodeći proizvođač keramičkih krajnjih efektora / rukovačkih ruku, razvili smo nekonvencionalnu krajnju efektor / rukovačku ruku koja odgovara potrebama tog tržišta. Keramička krajnja efektor / rukovačka ruka zasnovana na Bernoullijevom principu rada, koja može levitirati i transportovati pločicu protokom zraka uz minimalan periferni kontakt.
-
ST.CERA Prilagođeni ESD keramički krajnji efektor
Zahvaljujući otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciji, keramika može dugo raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
-
ST.CERA Prilagođeni krajnji efektor za hvatanje od aluminijske keramike
Zahvaljujući otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
-
ST.CERA Prilagođeni krajnji efektor od aluminijumske keramike
Ovo je keramički krajnji efektor / rukojuća ruka u obliku poslužavnika koja se koristi u vakuumskim uslovima.
Keramički krajnji efektor / rukojujuća ruka je "otpornija na toplinu", "manje se defleksira" i "lakša" u usporedbi s metalnim.
-
ST.CERA Prilagođeni vakuumski krajnji efektor od aluminijske keramike
Zahvaljujući otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
-
ST.CERA Prilagođeni krajnji efektor od aluminijske keramike
ST.CERA nudi ESD premaz i ESD keramički materijal za krajnje efektore. Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
ST.CERA Prilagođeni vakuumski krajnji efektor od aluminijumske keramike
Ovo je keramički krajnji efektor / rukojuća ruka u obliku poslužavnika koja se koristi u vakuumskim uslovima.
Keramički krajnji efektor / rukojujuća ruka je "otpornija na toplinu", "manje se defleksira" i "lakša" u usporedbi s metalnim.
Zahvaljujući otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
ST.CERA Prilagođeni rukovanje pločicama za krajnje efektore od aluminijske keramike
ST.CERA nudi ESD premaz i ESD keramički materijal za krajnje efektore / rukovačke ruke sa ugrađenim šupljim kanalom. Specijalizirani smo za tehniku koja formira vakuumski zračni kanal unutar jednog komada materijala bez upotrebe ljepila.
Ne postoji rizik od kontaminacije, ispuštanja plinova ili čestica. ST.CERA vakuumski krajnji efektor / ruka za rukovanje sa posebnom tehnologijom premaza je električno izolirana. Također možemo isporučiti ESD keramički materijal koji je električno izoliran bez ikakvog premaza.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃. -
Komponente poluprovodničke opreme od aluminijumske keramike za krajnje efektore
Spriječite čestice koje se mogu generirati sa zakošenih ili ugaonih ivica i zadnje površine dok se pločice transportuju ili su u kontaktu sa krajnjim efektorom / rukom.
Za vodiče je korišten mekani materijal koji ne oštećuje pločicu.
Razrjeđivanje je moguće zahvaljujući ST.CERA-inoj ugrađenoj tehnologiji vakuumskih kanala koja ne koristi ljepila.
Moguće je napraviti rupe za montažu i promijeniti dužinu i širinu baze gdje se krajnji efektor / rukojujuća ruka montira na robota.
Montaža senzora, vijaka i nosača dostupna je kao opcija.
Dizajniran za upotrebu u atmosferi.
-
Prilagođena CNC obrada St.Cera keramičkog krajnjeg efektora
ST.CERA nudi vakuumski keramički krajnji efektor / ruku za rukovanje sa ugrađenim šupljim kanalom. Specijalizirani smo za tehniku koja formira vakuumski zračni kanal unutar jednog komada materijala bez upotrebe ljepila.
Ne postoji rizik od kontaminacije, ispuštanja plinova ili čestica. ST.CERA vakuumski krajnji efektor / rukovalačka ruka s ugrađenim kanalom je izdržljiva i može se koristiti na visokim temperaturama. Štaviše, naši troškovi proizvodnje mogu se smanjiti eliminacijom nepotrebne montaže.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
Antistatički keramički krajnji efektor od aluminijevog oksida
Zahvaljujući otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
