12-inčna vakuumska stezna glava od aluminija za obradu pločica od 300 mm
St.Cera vakuumska stezna glava od 12 inča precizno je konstruirana od 99,8% visokočistog aluminijevog oksida (Al₂O₃) za rukovanje pločicama od 300 mm. Stezna glava ima fino užljebljenu površinu (širina žljeba 0,5–1,0 mm, korak 2–3 mm) kako bi se osigurala ravnomjerna raspodjela vakuuma po cijelom promjeru od 300 mm. Ravnost se održava unutar 5 μm, što omogućava fiksiranje pločice bez savijanja tokom rezanja, brušenja stražnje strane i inspekcije. Visoka čvrstoća na savijanje (361 MPa) i tvrdoća (16 GPa) materijala garantiraju dugoročnu dimenzionalnu stabilnost čak i pri ponovljenim ciklusima vakuumiranja.
Specifikacije (na osnovu 99,8% Al₂O₃):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Prečnik | 300 mm (12 inča) |
| Materijal | 99,8% aluminijum oksid (slonova kost) |
| Gustoća | 3,93 g/cm³ |
| Čvrstoća na savijanje | 361 MPa |
| Tvrdoća po Vickersu | 16 GPa |
| Ravnost (preko 300 mm) | ≤5 μm |
| Širina žljeba | 0,5–1,0 mm |
| Maksimalna radna temperatura | 800°C |
| Dielektrična čvrstoća | 15×10⁶ V/m |
Primjene:
Rezanje i graviranje pločica od 300 mm
Brušenje stražnje strane pločice (tanka podloga pločice)
Optički pregled i sondiranje
Stezne glave za privremeno lijepljenje/odljepljivanje
Proizvodnja:
CNC brušeno i polirano do konačne ravnosti, užljebljeno dijamantskim kotačima, ultrazvučno očišćeno i zapakirano u čistoj sobi klase 100. Svaka stezna glava je 100% pregledana na ravnost (laserski interferometar) i dubinu žljeba (profilometar).
Prednosti:
Nisko generiranje čestica (≤0,05 čestica/cm²)
Hemijski inertan prema rastvaračima i kiselinama
Površina otporna na ESD (otpornost >10¹³ Ω·cm)
Dostupni su prilagođeni uzorci otvora za vakuum i stražnji otvori.
