Vakuumska stezna glava na bazi silicijum karbida (SiC) za visokotemperaturna i plazma okruženja
St.Cera keramička stezna glava na bazi SiC-a proizvedena je od silicijum karbida visoke čistoće (serija S1111, SiC 99,72%, slobodni Si 0,05%). Pruža izmjerenu čvrstoću na savijanje od 449 MPa, žilavost na lom od 3,12 MPa·m¹/² i modul elastičnosti od 457 GPa. Tipična toplinska provodljivost materijala (120–150 W/m·K) i nisko toplinsko širenje (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) omogućavaju brzo povećanje temperature i minimalno savijanje pločice tokom termičkog cikliranja. Stezna glava se može konfigurirati kao porozna vakuumska stezna glava (ujednačen protok plina) ili standardna stezna glava s užljebljenjem. S maksimalnom temperaturom upotrebe od 1600–1700°C (bez opterećenja) i izuzetnom otpornošću na eroziju plazmom, ova stezna glava je idealna za obradu pločica na visokim temperaturama (žarenje, RTP) i agresivne komore za nagrizanje gdje se aluminijske stezne glave degradiraju.
Specifikacije(na osnovu dostavljenog izvještaja o ispitivanju SiC S1111 i tipičnih vrijednosti):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Materijal | SiC (99,72% SiC, 0,05% slobodnog Si) |
| Gustoća | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Apsorpcija vode | 0% |
| Fleksibilna čvrstoća | 449 MPa |
| Žilavost na lom | 3,12 MPa·m¹/² |
| Modul elastičnosti | 457 GPa |
| Tvrdoća po Vickersu | 25–28 GPa |
| Toplotna provodljivost | 120–150 W/m·K |
| KTŠ (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Maks. temperatura korištenja (bez opterećenja) | 1600–1700°C |
| Ravnost (preko 300 mm) | ≤5 μm |
| Površinska obrada | Ra ≤0,4 μm (preklopljeno) |
Primjene:
● Stezanje na visokim temperaturama (žarenje, RTP, epitaksijalni rast)
● Stezna glava za plazma nagrizanje s visokom otpornošću na fluor
● Rukovanje tankim pločicama sa ravnomjernim zagrijavanjem/hlađenjem
● Porozna stezna glava za beskontaktnu podršku pločice
Proizvodnja:
SiC sinterovanje → precizno brušenje ravnosti i površinskog profila → opciono formiranje porozne strukture (za vakuumsku steznu glavu) → lepanje → ultrazvučno čišćenje. Svaka stezna glava je 100% pregledana na ravnost (laserski interferometar) i ujednačenost vakuuma (test protoka).
Kontrola kvalitete:
● Dimenzionalna provjera CMM-a (prečnik, debljina, položaji rupa)
● Mjerenje ravnosti prema ASTM-u
● Ispitivanje curenja helija (za vakuumske stezne glave)
● Provjera čvrstoće na savijanje po seriji (ref. izvještaj o ispitivanju)
Prednosti u odnosu na aluminijske stezne glave:
● Veća toplotna provodljivost (120–150 u odnosu na 32 W/m·K za aluminijum oksid) – 4× brži prenos toplote
● Niži CTE (4,0 vs 7,2×10⁻⁶/℃) – smanjuje termički stres pločice
● Superiorna otpornost na plazmu – 10× duži vijek trajanja u nagrizanju fluorom
● Viša maksimalna temperatura upotrebe (1600°C u odnosu na 800°C za aluminijum)
Prilagođavanje:
● Porozna ili žljebljena površina
● Prečnik 100–450 mm, okrugli ili kvadratni
● Prsten za zaptivanje rubova ili zonske vakuumske pregrade
● Opcija metalne podloge za visoku čvrstoću montaže
Svi gore navedeni mehanički podaci potiču iz priloženog izvještaja o ispitivanju (serija S1111). Termičke vrijednosti i vrijednosti tvrdoće su tipične za ovu vrstu SiC-a. Porozne SiC stezne glave zahtijevaju dodatnu obradu; molimo vas da se raspitate o dostupnosti specifične poroznosti i veličine pora.
