U kombinaciji sa sveobuhvatnim prednostima performansi tradicionalnih Al2O3 i BeO supstratnih materijala, aluminijum nitrid(AlN) keramika, koja ima visoku toplotnu provodljivost (teorijska toplotna provodljivost monokristala je 275W/m▪k, teoretska toplotna provodljivost polikristala je 70~210W/m ), niska dielektrična konstanta, koeficijent termičke ekspanzije usklađen sa monokristalnim silicijumom i dobra električna izolaciona svojstva, idealan je materijal za podloge kola i ambalažu u industriji mikroelektronike.Takođe je važan materijal za visokotemperaturne strukturne keramičke komponente zbog dobrih mehaničkih svojstava pri visokim temperaturama, termičkih svojstava i hemijske stabilnosti.
Teorijska gustina AlN je 3,26 g/cm3, MOHS tvrdoća je 7-8, otpornost na sobnoj temperaturi je veća od 1016Ωm, a termička ekspanzivnost je 3,5×10-6/℃ (sobna temperatura od 200℃).Čista AlN keramika je bezbojna i prozirna, ali bi zbog nečistoća bila raznih boja poput sive, sivkasto bijele ili svijetlo žute.
Osim visoke toplotne provodljivosti, AlN keramika ima i sljedeće prednosti:
1. Dobra električna izolacija;
2. Sličan koeficijent termičke ekspanzije sa monokristalom silicijuma, superiorniji od materijala kao što su Al2O3 i BeO;
3. Visoka mehanička čvrstoća i slična čvrstoća na savijanje sa Al2O3 keramikom;
4. Umjerena dielektrična konstanta i dielektrični gubici;
5. U poređenju sa BeO, na toplotnu provodljivost AlN keramike manje utiče temperatura, posebno iznad 200℃;
6. Otpornost na visoke temperature i otpornost na koroziju;
7. Netoksičan;
8. Primenjuje se u industriji poluprovodnika, hemijskoj metalurgiji i drugim industrijskim oblastima.
Vrijeme objave: Jul-14-2023