U kombinaciji sa sveobuhvatnim prednostima tradicionalnih Al2O3 i BeO supstratnih materijala, aluminijum nitrid (AlN) keramika, koja ima visoku toplotnu provodljivost (teorijska toplotna provodljivost monokristala je 275 W/m▪k, teorijska toplotna provodljivost polikristala je 70~210 W/m▪k), nisku dielektričnu konstantu, koeficijent toplotnog širenja usklađen sa monokristalnim silicijumom i dobra svojstva električne izolacije, idealan je materijal za supstrate kola i pakovanja u mikroelektronskoj industriji. Također je važan materijal za visokotemperaturne strukturne keramičke komponente zbog dobrih visokotemperaturnih mehaničkih svojstava, termičkih svojstava i hemijske stabilnosti.
Teorijska gustoća AlN-a je 3,26 g/cm3, tvrdoća po MOHS-u je 7-8, otpornost na sobnoj temperaturi je veća od 1016Ωm, a termička ekspanzija je 3,5×10-6/℃ (sobna temperatura od 200℃). Čista AlN keramika je bezbojna i prozirna, ali može biti različitih boja poput sive, sivkasto bijele ili svijetložute, zbog nečistoća.
Pored visoke toplotne provodljivosti, AlN keramika ima i sljedeće prednosti:
1. Dobra električna izolacija;
2. Sličan koeficijent termičkog širenja kao kod silicijumskog monokristala, superiorniji u odnosu na materijale poput Al2O3 i BeO;
3. Visoka mehanička čvrstoća i slična čvrstoća na savijanje kao kod Al2O3 keramike;
4. Umjerena dielektrična konstanta i dielektrični gubici;
5. U poređenju sa BeO, toplotna provodljivost AlN keramike je manje pod uticajem temperature, posebno iznad 200℃;
6. Otpornost na visoke temperature i otpornost na koroziju;
7. Netoksično;
8. Primjenjuje se u poluprovodničkoj industriji, hemijskoj metalurškoj industriji i drugim industrijskim oblastima.
Vrijeme objave: 14. jula 2023.