Porozna keramička vakuumska stezna glava za rukovanje iskrivljenim pločicama
St.Cera porozna keramička stezna glava je izrađena od visokočistog aluminijevog oksida s ujednačenom otvorenom poroznošću od 30-45% i veličinom pora u rasponu od 10 do 100 μm. Za razliku od konvencionalnih užljebljenih steznih glava, porozna površina osigurava raspoređeni vakuum po cijeloj stražnjoj strani pločice, efikasno držeći iskrivljene, tanke ili pojedinačne pločice bez odvajanja ili lomljenja rubova. Blagi vakuum (podešljiv pomoću ograničivača) također sprječava tragove na stražnjoj strani.
Specifikacije(na osnovu 99,6% Al₂O₃):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Poroznost | 30–45% |
| Srednja veličina pora | 10–100 μm (odabirljivo) |
| Čvrstoća na savijanje | ≥250 MPa |
| Ravnost (preko 300 mm) | ≤5 μm |
| Površinska obrada | Preklopljeno (Ra 0,8 μm) |
| Maksimalni nivo vakuuma | -80 kPa |
| Radna temperatura | 400°C (zrak), 600°C (inert) |
| Materijal | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂ ili SiC |
Primjene:
Brušenje zadnje strane tanke pločice (≤50 μm)
Iskrivljeni nosač pločice za sjeckanje
Pojedinačno uzimanje matrice sa trake
Rukovanje staklenim pločama
Proizvodnja i kvalitet:
Keramički prah pomiješan s organskim sredstvima za stvaranje pora → presovan → sinterovan → lepan do konačne debljine. Svaka stezna glava se testira protokom na ujednačenost vakuuma (≤5% odstupanja) i pregledava se na raspodjelu veličine pora (SEM). Ravnost se mjeri laserskim interferometrom.
Prednosti u odnosu na žljebljene stezne glave:
Nema označavanja rubova pločice ili pomjeranja čipa
Drži iskrivljene pločice (do 500 μm luka)
Eliminiše začepljenje otvora za vakuum
Samonivelirajuća podloga za tanke podloge
Prilagođavanje:
Okrugli ili pravokutni oblici, veličine do 600 mm. Možemo primijeniti prstenove za zaptivanje rubova ili zonske vakuumske pregrade. Dostupne su verzije s metalnom podlogom za zahtjeve visoke čvrstoće.
Zatražite uzorak za test veličine i savijanja vaše pločice.
