Keramički potporni klin za poluprovodničke procesne fiksatore
St.Cera keramičke potporne igle (također poznate kao igle za podizanje ili potporne igle) koriste se u komorama za poluprovodničke procese za podizanje pločica ili podloga tokom rukovanja, zagrijavanja ili hlađenja. Proizvedene od 99,8% aluminijevog oksida ili silicijum nitrida, ove igle nude visoku tlačnu čvrstoću, termičku stabilnost i hemijsku otpornost. Hemisferni ili ravni dizajn vrha sprječava grebanje pločice.
Specifikacije(Alumina 99,8%):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Materijal | 99,8% Al₂O₃ ili Si₃N₄ |
| Dužina | 10 – 100 mm |
| Prečnik | 1 – 10 mm |
| Oblik vrha | Ravne, polukružne, šiljaste |
| Tlačna čvrstoća (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maks. radna temperatura (Al₂O₃) | 1600°C |
| Površinska obrada | Preklopljeno (Ra ≤0,4 μm) |
| Tolerancija prečnika | ±0,01 mm |
Primjene:
Podizne igle u CVD/PVD komorama
Potporni klinovi za pečenje na grijaćoj ploči
Strukture za podršku karticama sondi
Nosači za brodove od kvarcne peći
Proizvodnja:
Precizno bescentrično brušenje vanjskog promjera → dijamantno brušenje profila vrha → ultrazvučno čišćenje → 100% dimenzijska kontrola.
Kontrola kvalitete:
Koordinatna mjerna mašina (CMM) za dužinu/prečnik, optički komparator za radijus vrha, ispitivanje opterećenjem za provjeru tlačne čvrstoće (slučajni uzorak po lotu). Nema feromagnetne kontaminacije (provjereno magnetom).
Prednosti u odnosu na metalne ili kvarcne igle:
5 puta duži vijek trajanja od nehrđajućeg čelika
Nema kontaminacije metalom u procesnoj komori
Sposobnost otporna na veće temperature od kvarca (1600°C u odnosu na 1100°C)
Neljepljiva površina (smanjeno prianjanje čestica)
Prilagođavanje:
Višestruki profili vrhova, navojna baza ili konusna osovina.
Također isporučujemo SiC pinove za ekstremne plazma okruženja.
