Keramički prsten od visokočistog aluminijumskog oksida za CVD / PVD procesne komore
Keramički prsten kompanije St.Cera je posebno dizajniran za upotrebu u CVD (hemijsko taloženje iz parne faze) i PVD (fizičko taloženje iz parne faze) procesnim komorama. Proizveden od 99,8% aluminijumskog oksida (Al₂O₃) visoke čistoće, ovaj prsten služi kao obloga komore, fokusni prsten ili komponenta procesnog kompleta za ograničavanje plazme i zaštitu zidova komore od erozije. Materijal nudi odličnu otpornost na plazmu, visoku dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m) i termičku stabilnost do 1600°C, osiguravajući dug vijek trajanja u agresivnim okruženjima plazme na bazi fluora. Precizne dimenzijske tolerancije (±0,05 mm na unutrašnjem/spoljašnjem promjeru) i ravnost (≤10 μm) omogućavaju konzistentno pozicioniranje ivica pločice, poboljšavajući ujednačenost taloženja i smanjujući stvaranje čestica.
Specifikacije (na osnovu 99,8% Al₂O₃):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Materijal | 99,8% aluminijum oksid (slonova kost) |
| Gustoća | 3,93 g/cm³ |
| Apsorpcija vode | 0% |
| Fleksibilna čvrstoća | 361 MPa |
| Žilavost na lom | 3–4 MPa·m¹/² |
| Tvrdoća po Vickersu | 16 GPa |
| Youngov modul | 380 GPa |
| Toplotna provodljivost | 32 W/m·k |
| Termičko širenje (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Dielektrična čvrstoća | 15×10⁶ V/m |
| Specifični otpor | >10¹⁴ Ω·cm |
| Maksimalna radna temperatura | 1600°C |
Primjene:
- · Prstenovi za fokusiranje i rubni prstenovi CVD komore
- · PVD prstenovi za zaštitu komore i stezni prstenovi
- · Obloge i pokrovni prstenovi komore za jetkanje
- · Prstenovi za ograničavanje plazme u dielektričnim sistemima za nagrizanje
Proizvodni proces:
Izostatičko presovanje → zelena mašinska obrada → sinterovanje na 1600°C → CNC brušenje unutrašnjeg/spoljnog prečnika → poliranje površine → ultrazvučno čišćenje → 100% CMM inspekcija. Ultra glatka površinska obrada (Ra ≤0,4 μm) minimizira prianjanje čestica.
Kontrola kvalitete:
- · 100% provjera dimenzija (unutarnji promjer, vanjski promjer, debljina, ravnost)
- · Inspekcija penetrantom boje na površinske mikropukotine
- · Ispitivanje dielektrične čvrstoće prema ASTM D149
- · Nema vidljive promjene boje ili poroznosti pod mikroskopom od 20×
Prednosti u odnosu na metalne ili kvarcne prstenove:
- · 5–10× duži vijek trajanja od aluminijskih prstenova u fluornoj plazmi
- · Nema kontaminacije metalom u tankim filmovima
- · Veća otpornost na plazmu od kvarca (bez erozijskih jama)
- · Održava električnu izolaciju >10¹⁴ Ω·cm čak i nakon dugotrajne upotrebe
Alternativni materijal — silicijum nitrid (Si₃N₄):
Za primjene koje zahtijevaju još veću žilavost na lom (6,2 MPa·m¹/²) i bolju otpornost na termalni šok (koeficijent širenja 3,2×10⁻⁶/℃), dostupni su Si₃N₄ prstenovi. Međutim, aluminijev oksid je isplativiji za većinu CVD/PVD primjena. Molimo navedite željeni materijal prilikom naručivanja.
Prilagođavanje:
- · Prolazne rupe, stepenasti profili ili udubljenja za montažu
- · Površina obložena Y₂O₃ za poboljšanu otpornost na plazmu (opciono)
- · Lasersko graviranje broja dijela / koda serije
Napomena:Gore navedeni podaci strogo slijede priloženu tabelu svojstava Al₂O₃. Za Si₃N₄ prstenove, pogledajte zaseban priloženi Si₃N₄ tehnički list.
