Fokusni prsten komore od visokočistog aluminijumskog oksida za sisteme plazma nagrizanja i CVD-a

St.Cera prsten za fokusiranje komore je ključna komponenta procesnog kompleta koja se koristi u opremi za plazma nagrizanje, CVD i PVD poluprovodničkih procesa. Proizveden od 99,8% visokočistog aluminijumskog oksida (Al₂O₃), prsten okružuje rub pločice kako bi ograničio plazmu i optimizirao kutnu raspodjelu iona, čime se poboljšava ujednačenost nagrizanja po površini pločice. Materijal nudi izuzetnu otpornost na plazmu, visoku dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m) i termičku stabilnost do 1600°C, osiguravajući dugoročnu pouzdanost u agresivnim okruženjima plazme na bazi fluora ili hlora. Precizno brušeni unutarnji/vanjski promjer i ravnost (≤10 μm) omogućavaju precizno pozicioniranje rubova pločice, smanjujući defekte rubova i stvaranje čestica.

Specifikacije(na osnovu 99,8% Al₂O₃):

Primjene:

• · Fokusni prstenovi komore za dielektrično nagrizanje (oksidno, nitridno nagrizanje)
• · Rubni prstenovi od silikonske komore za jetkanje
• · Prstenovi kompleta za proces CVD komore
• · PVD štitnik komore i stezni prstenovi

Proizvodni proces:

Prah aluminijevog oksida visoke čistoće se izostatički presuje → obrađuje se zeleno do gotovo čistog oblika → sinteruje se na 1600°C → CNC dijamantsko brušenje unutrašnjeg i vanjskog promjera te debljine → preklapanje radi postizanja ravnosti ≤10 μm → ultrazvučno čišćenje → 100% CMM inspekcija. Završna obrada površine Ra ≤0,4 μm minimizira prianjanje čestica.

Kontrola kvalitete:

• · 100% dimenzijska inspekcija (unutarnji promjer, vanjski promjer, debljina, paralelnost)
• · Test penetrantom boje na mikropukotine (pukotine nisu dozvoljene)
• · Vizuelni pregled pod mikroskopom od 20× — bez krhotina, šupljina ili promjena boje
• · Ispitivanje dielektrične čvrstoće prema ASTM D149 (uzorkovanje)

Prednosti u odnosu na silikonske ili kvarcne prstenove za fokusiranje:

• · 5–10× duži vijek trajanja u fluorougljičnoj plazmi
• · Nema potrošnih čestica erozije koje bi mogle kontaminirati pločice
• · Veća dielektrična čvrstoća sprečava iskrenje
• · Održava ravnost i dimenzijsku tačnost tokom hiljada RF sati

Alternativni materijal — cirkonijev oksid stabiliziran itrijom (ZrO₂):

Za primjene koje zahtijevaju veću žilavost na lom (npr. komore s čestim termičkim ciklusima ili mehaničkim udarima), dostupni su ZrO₂ fokusni prstenovi (gustoća 6,03 g/cm³, čvrstoća na savijanje 1000 MPa, žilavost na lom 5–8 MPa·m¹/²). Međutim, aluminijev oksid nudi bolju isplativost i industrijski je standard za većinu primjena fokusnih prstenova.

Prilagođavanje:

• · Stepenasti profili, udubljenja ili montažne rupe prema crtežu kupca
• · Y₂O₃ premaz za poboljšanu otpornost na eroziju plazmom (debljina 20–100 μm)
• · Lasersko označavanje broja dijela, datuma ili oznaka za poravnanje

Napomena:Svi podaci strogo slijede priloženu tabelu svojstava Al₂O₃. Za specifikacije ZrO₂, pogledajte priloženi tehnički list cirkonija. Dizajni fokusnih prstenova mogu zahtijevati odobrenje patenta - kupci su odgovorni za provjeru prava intelektualnog vlasništva.