Teflonski obloženi keramički krajnji efektor – neljepljiva površina za osjetljivo rukovanje pločicama
St.Cera keramički krajnji efektor obložen teflonom (PTFE) kombinira visokočvrstu aluminijevu podlogu s ujednačenim PTFE premazom niskog trenja (debljine 15–30 μm). Premaz pruža izuzetno nizak koeficijent trenja (≤0,1), odličnu hemijsku otpornost i svojstva protiv lijepljenja, sprječavajući prianjanje pločice i eliminirajući kontaminaciju stražnje strane. Podloga od keramičke podloge (99,8% Al₂O₃) nudi visoku čvrstoću na savijanje (361–1000 MPa), otpornost na habanje i termičku stabilnost do 260°C (granica premaza). Ovaj krajnji efektor je idealan za rukovanje osjetljivim, tankim ili ljepljivim pločicama (npr. nakon fotorezistnog premaza ili hemijskih procesa).
Specifikacije (na osnovu 99,8% Al₂O₃ podloge sa PTFE premazom):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Materijal podloge | 99,8% aluminijum oksid (slonova kost) |
| Materijal za premazivanje | PTFE (teflon) |
| Debljina premaza | 15–30 μm |
| Koeficijent trenja (obloženo) | ≤0,1 |
| Čvrstoća podloge na savijanje (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Tvrdoća podloge (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Gustoća podloge | 3,93 g/cm³ |
| Maks. radna temperatura (granica premaza) | 260°C |
| Hrapavost površine (prije premazivanja) | Ra ≤0,4 μm |
| Dielektrična čvrstoća (podloga) | 15×10⁶ V/m |
Napomena: PTFE premaz ograničava maksimalnu temperaturu na 260°C; za primjene na višim temperaturama, razmotrite nepremazanu keramiku ili druge premaze.
Primjene:
- · Rukovanje pločicama nakon nanošenja fotorezistnog premaza (ljepljive površine)
- · Prijenos tankih ili lomljivih vafla (sprečava lijepljenje)
- · Alati za inspekciju i metrologiju poluprovodnika
- · Automatizacija čistih soba gdje kontaminacija česticama mora biti svedena na minimum
Proizvodni proces:
Keramička podloga sinterovana i precizno brušena → hrapavost površine (plazma nagrizanje ili pjeskarenje) → PTFE premaz prskanjem → toplinsko stvrdnjavanje na 380°C → završna inspekcija. Svaki krajnji efektor se provjerava na debljinu premaza (vrtložne struje), prianjanje (test poprečnog rezanja ASTM D3359) i koeficijent trenja.
Kontrola kvalitete:
100% vizuelni pregled na rupice ili mjehuriće; ujednačenost debljine premaza unutar ±5 μm; nema delaminacije nakon testa savijanja pod uglom od 90° na svjedočkom uzorku. Dimenzionalna provjera prema toleranciji proizvođača originalne opreme (dužina ±0,05 mm, ravnost ≤0,1 mm).
Prednosti u odnosu na nepremazane ili druge premaze:
- · Neljepljiva površina sprječava lijepljenje i lomljenje pločice
- · Najniži koeficijent trenja među keramičkim premazima
- · Odlična hemijska otpornost (kiseline, baze, rastvarači)
- · Smanjuje stvaranje čestica sprečavanjem prenosa materijala
Ograničenja (napomene o odstupanju materijala):
PTFE premaz nije izveden iz datih tabela svojstava materijala (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Svojstva podloge strogo slijede priloženi tehnički list (99,8% Al₂O₃). Svojstva premaza zasnivaju se na industrijskim standardnim PTFE specifikacijama, jer nisu dati podaci o premazu. Za primjene koje prelaze 260°C, preporučuje se neobloženi keramički krajnji efektor.*
Prilagođavanje:
Dostupno u dužinama 150–1500 mm, oblicima vrhova (zahvat na rubu, Bernoulli, ravni), uzorcima prirubnica za montažu prema crtežu proizvođača originalne opreme. Djelomični premaz (samo kontaktne površine) ili potpuni premaz opcionalni.
Zatražite uzorak za testiranje prianjanja i trenja.
