Keramički zaptivni prsten od visokočistog aluminijumskog oksida za zaptivanje komore visoke temperature
St.Cera keramički zaptivni prsten dizajniran je kao alternativa polimernim O-prstenovima u ekstremnim okruženjima gdje se elastomeri degradiraju. Proizveden od 99,8% aluminijevog oksida visoke čistoće (Al₂O₃), ovaj kruti zaptivni prsten se koristi u primjenama statičkog zaptivanja - obično uparen s mekom metalnom ili grafitnom brtvom - kako bi se osiguralo pouzdano zadržavanje vakuuma ili plina na temperaturama do 800°C i u agresivnim plazma ili hemijskim okruženjima. Materijal nudi nulto ispuštanje plinova, visoku tlačnu čvrstoću (osnovna čvrstoća na savijanje 361 MPa) i hemijsku inertnost (otporan na halogene, kiseline i alkalije osim HF). Precizno preklopljene zaptivačke površine (ravnoća ≤5 μm, hrapavost površine Ra ≤0,2 μm) osiguravaju nepropustan kontakt sa spojnim metalnim ili keramičkim komponentama.
Specifikacije(na osnovu 99,8% Al₂O₃):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Materijal | 99,8% aluminijum oksid (slonova kost) |
| Gustoća | 3,93 g/cm³ |
| Apsorpcija vode | 0% |
| Čvrstoća na savijanje | 361 MPa |
| Tlačna čvrstoća (procjena) | >2000 MPa |
| Tvrdoća po Vickersu | 16 GPa |
| Termičko širenje (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Maksimalna radna temperatura | 800°C (zrak), 1600°C (inert) |
| Površinska obrada (zaptivna površina) | Ra ≤0,2 μm (preklopljeno) |
| Ravnost (po 25 mm) | ≤5 μm |
| Brzina curenja helija | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (sa odgovarajućom zaptivkom) |
Primjene:
- · Statička zaptivka za poluprovodničke procesne komore (CVD, PVD, nagrizanje)
- · Zaptivke vrata peći otporne na visoke temperature
- · Vakuumske prolazne prirubnice
- · Zatvarači posuda hemijskih reaktora
Proizvodni proces:
Izostatičko presovanje → sinterovanje na 1600°C → precizno dvostrano lepanje za postizanje ultra ravnih, glatkih zaptivnih površina → zakošavanje ivica → ultrazvučno čišćenje. Svaki prsten je 100% testiran na curenje na detektoru curenja helija sa standardnom metalnom zaptivkom.
Kontrola kvalitete:
- · Dimenzionalna provjera CMM-a (unutarnji promjer, vanjski promjer, debljina, paralelnost)
- · Površinski profilometar za Ra i valovitost
- · Mjerenje ravnosti optičkim sredstvom za mjerenje ravnosti
- · Ispitivanje curenja helija (metoda povratnog pritiska)
Prednosti u odnosu na polimerne O-prstenove:
- · Podnosi 800°C naspram <300°C za FFKM
- · Nula ispuštanja gasova — nema kontaminacije vakuumskog okruženja
- · Otporan na sve plazma hemikalije (fluor, hlor, kiseonik)
- · Nema kompresijskog zatezanja ili trajne deformacije
- · Neograničen vijek trajanja u čistim okruženjima
Ograničenja (kritičke primjedbe):
- · Nije O-prsten— to je kruti keramički prsten koji zahtijeva meku brtvu (bakar, aluminij ili grafit) za brtvljenje.
- · Ne prilagođava se dinamičkom kretanju ili velikom neusklađenju prirubnica.
- · Viši početni trošak od polimernih O-prstenova, ali duži vijek trajanja smanjuje troškove vlasništva.
- · Krhko — pažljivo rukovati; izbjegavati udarce ili naprezanje savijanjem.
Napomena:Gore navedeni podaci strogo slijede priloženu tabelu svojstava Al₂O₃. Nisu dati podaci za elastomerne materijale. Ovaj proizvod je statički zaptivni prsten, a ne elastomerni O-prsten. Molimo vas da potvrdite da li ovo ispunjava vaše zahtjeve primjene.
