Krajnji efektor od visokočistog aluminijumskog keramičkog oksida za robote za rukovanje pločicama

St.Cera-in krajnji efektor od aluminijumske keramike precizno je obrađen od 99,8% Al₂O₃ visoke čistoće korištenjem napredne 5-osne CNC brusilice. Naši proizvodni kapaciteti uključuju precizne brusilice i CNC obradne centre, što omogućava složene geometrije s visokom preciznošću. Krajnji efektor ima tanak profil (tanak samo 1,5 mm) sa suženom vodećom ivicom za glatko umetanje pločice. Materijal pruža visoku krutost (Youngov modul 380 GPa), odličnu otpornost na habanje i termičku stabilnost do 800°C. Svaka jedinica je precizno brušena kako bi se postigla ravnost od 0,003 mm, paralelnost od 0,002 mm i završna obrada površine od Ra0.1, osiguravajući konzistentan kontakt pločice i rad bez čestica u FAB okruženjima poluprovodnika. Dostupan je u dužinama od 150 mm do 450 mm, s prilagođenim geometrijama vrha (hvatanje ruba, Bernoulli, ravno) i montažnim prirubnicama koje odgovaraju OEM robotima. Opcije površinske završne obrade uključuju preklapanje, poliranje ili ESD disipativni premaz (10⁶–10⁹ Ω/kvadratni).

Specifikacije (bazirane na 99,8% Al₂O₃& proizvodni kapaciteti St.Cera):

Primjene:

• · Prijenos pločica u vakuumskim i atmosferskim robotima
• · FAB automatizacijski krajnji efektori za pločice od 200 mm/300 mm
• · Rukovanje tankim pločicama (s ESD opcijom)

Proizvodne mogućnosti:
Naše precizne brusilice i CNC obradni centri omogućavaju proizvodnju složenih keramičkih komponenti sa:

• · Maksimalna dužina obrade: 1500 mm
• · Maksimalni vanjski promjer: 600 mm
• · Minimalni unutrašnji prečnik: 0,2 mm
• · Maksimalna debljina: 100 mm

Kontrola kvalitete:
Pravost 0,005 mm, okomitost 0,005 mm, kružnost 0,002 mm, paralelnost 0,002 mm, koncentričnost 0,01 mm provjereno CMM-om. Svaka jedinica je ultrazvučno očišćena i pakirana u čistu sobu klase 100.