Vakuumska stezna glava od poroznog SiC-a s metalnom podlogom za rukovanje deformiranim i tankim pločicama
St.Cera keramička vakuumska stezna glava na bazi metala kombinuje porozni keramički sloj silicijum karbida (SiC) sa precizno obrađenom metalnom bazom (aluminijum ili nehrđajući čelik). Porozni SiC materijal (plavo-crna, poroznost 35–40%, veličina pora 20–30 μm, propusnost 60 ml/cm²·min) omogućava ujednačenu, nježnu raspodjelu vakuuma po cijeloj površini pločice, eliminišući označavanje rubova i omogućavajući beskontaktnu podršku za tanke (≤100 μm) ili iskrivljene pločice. Sloj SiC nudi nisko termičko širenje (3,5×10⁻⁶/℃), termičku stabilnost do 1000°C i umjerenu čvrstoću na savijanje (32–35 MPa). Metalna baza dodaje strukturnu krutost, jednostavnu montažu putem navojnih otvora i zaštitu od krhkog loma. Ova stezna glava je idealna za brušenje zadnje strane, sjeckanje i obradu pločica na visokim temperaturama gdje su ujednačen vakuum i termička kompatibilnost ključni.
Specifikacije (na osnovu dostavljenih podataka o poroznom SiC-u):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Keramički materijal | Porozni silicijum karbid (SiC ≥80%) |
| Boja | Plavo-crna |
| Poroznost | 35–40% |
| Veličina pora | 20–30 μm |
| Gustoća | 2,1–2,3 g/cm³ |
| Propustljivost | 60 ml/cm²·min |
| Čvrstoća na savijanje | 32–35 MPa |
| Koeficijent termičkog širenja (25-1000°C) | 3,5×10⁻⁶/℃ |
| Maksimalna radna temperatura | 1000°C |
| Električni otpor | 10⁻¹⁰ Ω/cm (prema navedenim podacima, tipično za porozni SiC) |
| Metalni osnovni materijal | Aluminij 6061 ili nehrđajući čelik 304 (opciono) |
| Debljina metalne baze | 10–30 mm (prilagođeno) |
Napomena: Čvrstoća na savijanje je niža nego kod gustog SiC-a zbog poroznosti. Svojstva metalne baze nisu iz keramičkih tablica.
Primjene:
- · Brušenje tankih pločica sa zadnje strane (≤100 μm)
- · Iskrivljeni nosač pločice za sjeckanje
- · Stezanje pločica na visokim temperaturama (do 1000°C)
- · Vakuumsko pričvršćivanje za porozne ili lomljive podloge
Proizvodnja:
Porozna SiC ploča (formirana s sredstvima za stvaranje pora, sinterirana) → polirana do ravnosti ≤10 μm → metalna baza obrađena vakuumskim otvorima i elementima za montažu → epoksidno lijepljenje ili mehaničko stezanje → ispitivanje curenja helijem.
Kontrola kvalitete:
- · Poroznost i veličina pora potvrđene SEM-om
- · Ispitivanje propusnosti (protok zraka)
- · Ravnost mjerena laserskim interferometrom
- · Brzina curenja helija <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
Prednosti u odnosu na žljebljene ili guste keramičke stezne glave:
- · Bez označavanja pločice – ujednačen vakuum bez diskretnih rupa
- · Samočišćenje pora – smanjeno začepljenje
- · Rukuje iskrivljenim pločicama (do 500 μm luka)
- · Metalna baza sprječava krhki lom i pojednostavljuje integraciju
Ograničenja:
- · Manja čvrstoća na savijanje (32–35 MPa) – izbjegavajte udarno opterećenje
- · Radna temperatura ograničena na 1000°C (porozni SiC), ali epoksidna veza na metalnoj bazi ograničena je na ≤200°C osim ako nije mehanički stegnuta
- · Nije za vakuum visokog pritiska (porozna struktura ograničava maksimalni diferencijalni vakuum)
Prilagođavanje:
- · Metalna baza: aluminij (laki), nehrđajući čelik (otporan na koroziju), Invar (nisko širenje)
- · Lijepljenje: epoksid (≤200°C) ili mehanička stezaljka (do 500°C)
- · Prsten za zaptivanje rubova za kontrolu zonskog vakuuma
Napomena: Isporučena čvrstoća na savijanje (32–35 MPa) je znatno niža nego kod guste keramike zbog poroznosti. Pažljivo rukujte kako biste izbjegli pucanje rubova.
