Vakuumska stezna glava od porozne keramike na bazi aluminijevog oksida za rukovanje tankim pločicama
St.Cera porozna stezna glava na bazi aluminijevog oksida izrađena je od 99,6% Al₂O₃ visoke čistoće s kontroliranom otvorenom poroznošću od 30–45% i ujednačenom veličinom pora u rasponu od 10 do 50 μm. Za razliku od užljebljenih steznih glava, porozna površina osigurava raspoređeni vakuum po cijeloj stražnjoj strani pločice, eliminirajući označavanje rubova i omogućavajući nježno držanje ultra tankih (≤100 μm) ili iskrivljenih pločica. Materijal nudi čvrstoću na savijanje ≥250 MPa i termičku stabilnost do 400°C na zraku.
Specifikacije(na osnovu 99,6% Al₂O₃):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Materijal | 99,6% aluminijum oksid (bijeli) |
| Poroznost | 30–45% (podesivo) |
| Srednja veličina pora | 10–50 μm |
| Čvrstoća na savijanje | ≥250 MPa |
| Gustoća | 3,88 g/cm³ |
| Ravnost (preko 200 mm) | ≤5 μm |
| Maksimalna radna temperatura | 400°C (zrak) |
| Površinska obrada | Preklopljeno (Ra ≤0,8 μm) |
Primjene:
- · Brušenje zadnje strane tanke pločice (≤50 μm)
- · Iskrivljeni nosač pločice za sjeckanje
- · Pojedinačni prihvatnik matrice
- · Rukovanje staklenom podlogom
Proizvodnja:
Prašak pomiješan sa sredstvima za stvaranje pora → izostatsko presovanje → sinterovanje na 1600°C → preklapanje do konačne debljine. Svaka stezna glava se testira protokom na ujednačenost vakuuma (odstupanje pritiska <5%) i pregledava se na raspodjelu veličine pora (SEM).
Prednosti u odnosu na konvencionalne stezne glave:
- · Nema oznaka na poleđini pločice ili pomjeranja čipa
- · Drži pločice sa lukom do 500 μm
- · Samočisteća površina (pore se odupiru začepljenju)
- · Ujednačena podrška eliminira lokalni stres
Cprilagođavanje:
Okrugli ili kvadratni oblici, prečnika 100–450 mm. Dostupan je prsten za zaptivanje ivica za zonsku kontrolu vakuuma.
Zatražite uzorak za vašu specifičnu veličinu pločice.
