-
ST.CERA Prilagođena poluprovodnička oprema Keramičke stezne glave
Kritični procesi u oblasti poluprovodnika moraju se obavljati u čistim sobama, posebno za one uređaje koji se koriste u uslovima visoke temperature, vakuuma i korozivnog gasa. Keramika može održati visoku stabilnost u složenom fizičkom i hemijskom okruženju.
-
ST.CERA Prilagođena poluprovodnička oprema Keramička ploča
Kritični procesi u oblasti poluprovodnika moraju se obavljati u čistim sobama, posebno za one uređaje koji se koriste u uslovima visoke temperature, vakuuma i korozivnog gasa. Keramika može održati visoku stabilnost u složenom fizičkom i hemijskom okruženju.
-
ST.CERA Prilagođeni keramički poluprovodnički prsten za fokusiranje
Kritični procesi u oblasti poluprovodnika moraju se obavljati u čistim sobama, posebno za one uređaje koji se koriste u uslovima visoke temperature, vakuuma i korozivnog gasa. Keramika može održati visoku stabilnost u složenom fizičkom i hemijskom okruženju.
-
ST.CERA Prilagođena keramička ruka za utovar od 99,5% aluminijevog oksida
Keramički krajnji efektor / ruka za rukovanje je instalirana na robotu za rukovanje pločicama ili "krajnjim efektorima" i koristi se za prenošenje silicijumskih pločica u ili iz kaseta ili procesnih komora.
Prednosti korištenja keramike su smanjenje deformacije zbog visoke čvrstoće na savijanje, otpornost na visoke temperature i eliminacija metalne kontaminacije i čestica. -
ST.CERA Prilagođeni krajnji efektor od aluminijske keramike
ST.CERA nudi ESD premaz i ESD keramički materijal za krajnje efektore. Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
ST.CERA Prilagođeni poluprovodnički keramički fokusni prsten
Izrađeni od visokočiste (iznad 99,5%) aluminijumske keramike, formirane hladnim izostatskim presovanjem i sinterovane pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme sa svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije.
Zahvaljujući otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
ST.CERA Prilagođena poluprovodnička precizna aluminijumska keramička čahura
Izrađeni od visokočiste (iznad 99,5%) aluminijumske keramike, formirane hladnim izostatskim presovanjem i sinterovane pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme sa svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije.
Zahvaljujući otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
ST.CERA Prilagođeni vakuumski krajnji efektor od aluminijumske keramike
Ovo je keramički krajnji efektor / rukojuća ruka u obliku poslužavnika koja se koristi u vakuumskim uslovima.
Keramički krajnji efektor / rukojuća ruka je "otporniji na toplinu", "manje se defleksira" i "lakši" u usporedbi s metalnim.
Zahvaljujući otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
ST.CERA Prilagođene keramičke cijevi i keramičke šipke od 99,5% aluminijevog oksida
Zahvaljujući otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
ST.CERA Prilagođeni rukovanje pločicama za krajnje efektore od aluminijske keramike
ST.CERA nudi ESD premaz i ESD keramički materijal za krajnje efektore / rukovanje s ugrađenim šupljim kanalom. Specijalizirani smo za tehniku koja formira vakuumski zračni kanal unutar jednog komada materijala bez upotrebe ljepila.
Ne postoji rizik od kontaminacije, ispuštanja plinova ili čestica. ST.CERA vakuumski krajnji efektor / ruka za rukovanje sa posebnom tehnologijom premaza je električno izolirana. Također možemo isporučiti ESD keramički materijal koji je električno izoliran bez ikakvog premaza.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃. -
Komponente poluprovodničke opreme od aluminijumske keramike za krajnje efektore
Spriječite čestice koje se mogu generirati sa zakošenih ili ugaonih ivica i zadnje površine dok se pločice transportuju ili su u kontaktu sa krajnjim efektorom / rukom.
Za vodiče je korišten mekani materijal koji ne oštećuje pločicu.
Razrjeđivanje je moguće zahvaljujući ST.CERA ugrađenoj tehnologiji vakuumskih kanala koja ne koristi ljepila.
Moguće je napraviti rupe za montažu i promijeniti dužinu i širinu baze gdje se krajnji efektor / rukojujuća ruka montira na robota.
Montaža senzora, vijaka i nosača dostupna je kao opcija.
Dizajniran za upotrebu u atmosferi.
-
Prilagođena CNC obrada St.Cera keramičkog krajnjeg efektora
ST.CERA nudi vakuumski keramički krajnji efektor / ruku za rukovanje sa ugrađenim šupljim kanalom. Specijalizirani smo za tehniku koja formira vakuumski zračni kanal unutar jednog komada materijala bez upotrebe ljepila.
Ne postoji rizik od kontaminacije, ispuštanja plinova ili čestica. ST.CERA vakuumski krajnji efektor / rukovalačka ruka s ugrađenim kanalom je izdržljiva i može se koristiti na visokim temperaturama. Štaviše, naši troškovi proizvodnje mogu se smanjiti eliminacijom nepotrebne montaže.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
