ST.CERA Prilagođeni poluprovodnički keramički fokusni prsten
Izrađeni od visokočiste (iznad 99,5%) aluminijumske keramike, formirane hladnim izostatskim presovanjem i sinterovane pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme sa svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije.
Zahvaljujući otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
