Keramička ploča od aluminijevog oksida velikog formata za poluprovodničke i industrijske uređaje
St.Cera proizvodi keramičke ploče velikog formata od 99,8% visokočistog aluminijevog oksida (Al₂O₃) s maksimalnim dimenzijama do 1500 mm dužine i 600 mm širine. Naše mogućnosti preciznog brušenja postižu ravnost od 0,003 mm na 100 mm i paralelnost od 0,002 mm, osiguravajući konzistentan kvalitet površine za primjene na velikim površinama. Debljina do 100 mm, završna obrada površine do Ra0.1. Ove ploče služe kao podloge za vakuumske stezne glave, ploče za grijanje, ploče za električnu izolaciju i podovi procesnih komora u proizvodnji poluprovodnika, displeja i fotonaponskih sistema. Dostupni su prolazni otvori, udubljenja i profiliranje ivica.
Specifikacije (bazirane na 99,8% Al₂O₃& proizvodni kapaciteti St.Cera):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Materijal | 99,8% aluminijum oksid (slonova kost) |
| Gustoća | 3,93 g/cm³ |
| Fleksibilna čvrstoća | 361 MPa |
| Tvrdoća po Vickersu | 16 GPa |
| Dielektrična čvrstoća | 15×10⁶ V/m |
| Maksimalna dužina | 1500 mm |
| Maksimalna širina | 600 mm |
| Maksimalna debljina | 100 mm |
| Ravnost (na 100 mm) | 0,003 mm |
| Paralelizam | 0,002 mm |
| Površinska obrada | Ra0.1 (polirano/obrađeno) |
| Maksimalna radna temperatura | 1600°C |
Primjene:
- · Vakuumske stezne ploče za velike pločice i panele
- · Grijaće ploče za opremu za termičku obradu
- · Električne izolacijske ploče u visokonaponskim sistemima
- · Podovi i obloge procesnih komora
Preciznost proizvodnje:
Pravost: 0,005 mm, okomitost: 0,005 mm, provjereno laserskim interferometrom.
Prednosti u odnosu na metalne ploče:
- · Nema metalne kontaminacije – ključno za poluprovodničke procese
- · Bez ispuštanja gasova – idealno za vakuumska okruženja
- · Vrhunska otpornost na habanje i hemikalije
Prilagođavanje:
Dostupni su prilagođeni uzorci rupa, profili rubova, stepenaste površine i metalizirana područja za montažu.
