-
Robotska ruka od visokočistog aluminijumskog keramičkog oksida za rukovanje pločicama
St.Cera robotska ruka od aluminijum keramičkog oksida precizno je konstruirana od 99,8% visokočistog Al₂O₃ (aluminijum oksida). Kombinuje izuzetnu čvrstoću na savijanje (361 MPa), visoku tvrdoću (16 GPa) i nisku gustinu (3,93 g/cm³), što rezultira laganom, ali čvrstom rukom za prenos poluprovodničkih pločica. Koeficijent termičkog širenja materijala (7,2×10⁻⁶/°C) blisko se podudara sa silicijumom, minimizirajući termičku neusklađenost tokom obrade.
-
Bernoulli keramički krajnji efektor — beskontaktno rukovanje pločicama za tanke i lomljive pločice
St.Cera Bernoulli keramički krajnji efektor koristi aerodinamički uzgon za rukovanje pločicama bez fizičkog kontakta. Proizveden od visokočistog 99,8% aluminijevog oksida (Al₂O₃) ili silicijum karbida (SiC), ima precizno obrađene mlaznice koje izbacuju komprimirani plin kako bi stvorile tanki zračni film između krajnjeg efektora i pločice. Ovaj princip beskontaktnosti eliminira kontaminaciju stražnje strane, odvajanje rubova i oštećenje površine, što ga čini idealnim za tanke (≤100 μm), krhke ili iskrivljene pločice. Keramička podloga pruža visoku čvrstoću na savijanje (361 MPa za Al₂O₃; do 550–600 MPa za SiC), malu masu i odličnu dimenzionalnu stabilnost, osiguravajući ponovljivo pozicioniranje u robotima za prijenos pločica velikom brzinom.
-
Teflonski obloženi keramički krajnji efektor – neljepljiva površina za osjetljivo rukovanje pločicama
St.Cera keramički krajnji efektor obložen teflonom (PTFE) kombinira visokočvrstu aluminijevu podlogu s ujednačenim PTFE premazom niskog trenja (debljine 15–30 μm). Premaz pruža izuzetno nizak koeficijent trenja (≤0,1), odličnu hemijsku otpornost i svojstva protiv lijepljenja, sprječavajući prianjanje pločice i eliminirajući kontaminaciju stražnje strane. Podloga od keramičke podloge (99,8% Al₂O₃) nudi visoku čvrstoću na savijanje (361–1000 MPa), otpornost na habanje i termičku stabilnost do 260°C (granica premaza). Ovaj krajnji efektor je idealan za rukovanje osjetljivim, tankim ili ljepljivim pločicama (npr. nakon fotorezistnog premaza ili hemijskih procesa).
