PVD izolacijski prsten od aluminijevog oksida za sisteme fizičkog taloženja iz pare
St.Cera PVD izolacijski prsten proizveden je od 99,8% visokočistog aluminijevog oksida (Al₂O₃) za upotrebu u sistemima fizičkog taloženja iz pare (PVD). Prsten pruža električnu izolaciju između komponenti komore, sprječavajući iskrenje i osiguravajući stabilan rad plazme. Ključna svojstva uključuju visoku dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m), specifični otpor >10¹⁴ Ω·mm²/m i termičku stabilnost do 1600°C. Naše mogućnosti precizne obrade postižu vanjske promjere do 600 mm, unutarnje promjere do 0,2 mm, ravnost od 0,003 mm i površinsku obradu Ra0.1. Nulta poroznost i hemijska inertnost prstena osiguravaju dugoročnu pouzdanost u agresivnim okruženjima za raspršivanje.
Specifikacije (bazirane na 99,8% Al₂O₃& proizvodni kapaciteti St.Cera):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Materijal | 99,8% aluminijum oksid (slonova kost) |
| Gustoća | 3,93 g/cm³ |
| Fleksibilna čvrstoća | 361 MPa |
| Tvrdoća po Vickersu | 16 GPa |
| Dielektrična čvrstoća | 15×10⁶ V/m |
| Specifični otpor | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maksimalni vanjski promjer | 600 mm |
| Minimalni unutrašnji prečnik | 0,2 mm |
| Maksimalna debljina | 100 mm |
| Ravnost | 0,003 mm |
| Paralelizam | 0,002 mm |
| Površinska obrada | Ra0.1 |
| Maksimalna radna temperatura | 1600°C |
Primjene:
- · Izolatori ploča za podlogu cilja u PVD sistemima
- · Prolazni izolatori komore
- · Zaštitni prstenasti izolatori u sistemima za raspršivanje
- · Visokonaponska izolacija u plazma komorama
Preciznost proizvodnje:
Koncentričnost: 0,01 mm, kružnost: 0,002 mm, pravolinijost: 0,005 mm, okomitost: 0,005 mm, verifikovano CMM-om.
APrednosti u odnosu na polimerne izolatore:
- · Otporan na 1600°C u odnosu na ograničenje od <300°C za polimer
- · Bez ispuštanja gasova – održava integritet vakuuma
- · Otporan na eroziju plazmom i hemijske napade
Prilagođavanje:
Dostupni su prilagođeni poprečni presjeci, elementi montaže, stepenasti profili i višestruki dizajni koncentričnih prstenova.
